Рентгеновский микроскоп с объективом в виде многоэлементной преломляющейся рентгеновской линзы
Рентгеновский микроскоп предназначен для просвечивания изделий микроэлектроники, микромеханики, а также биологических объектов.
Характеристики
Микроскоп содержит объектив в виде многоэлементной преломляющей рентгеновской линзы, что является его отличительной особенностью. Данная рентгеновская линза состоит из большого числа двояковогнутых микролинз и, как и линза для видимого изображения, позволяет формировать изображение объекта. Благодаря этому отпадает необходимость использовать в качестве источника излучения дорогостоящие микрофокусные рентгеновские трубки - вместо них используется серийная рентгеновская трубка, например, для структурного анализа. Оптические параметры рентгеновской линзы, которая используется в микроскопе, определялись на девяти синхротронах в США, Японии, Германии, Франции, России, Республике Корея и Китае.
В состав рентгеновского микроскопа входят:
- Рентгеновская трубка с медным анодом;
- Преломляющая рентгеновская линза;
- Рентгеновская камера для регистрации изображения объекта;
- Гониометр (крепиться линза);
- Держатель (крепить объект исследования);
- Источник излучения.
Рентгеновские лучи от рентгеновской трубки проходят через объект, где испытывают рассеяние и поглощение. Рассеянные лучи от каждой точки на плоскости объекта фокусируются линзой в соответствующую точку на плоскости изображения, где располагается рентгеновская камера, и формируют изображение объекта.
Пространственное разрешение предлагаемого микроскопа для фотонов с энергией 8 кэВ составляет 2-3 мкм, поле зрения около 1000 мкм. Зарубежные аналоги (фирмы Bruker и Rigaku) выпускают рентгеновские микроскопы с разрешением меньше, чем 1 мкм. Также стоимость аппарата значительно ниже.
Защита НТП:
- Патент №8602 на полезную модель «Устройство для получения монохроматического рентгеновского микропучка»;
- Патент №8963 на полезную модель «Многоэлементная преломляющая линза для гамма излучения».
- Рентгеновская оптика;
- Микроскопия;
- Медицина;
- Микроэлектроника и микромеханика.
- Продажа технологии